全國(guó)服務(wù)咨詢熱線:
18627990650
18627990650
當(dāng)前位置：首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > > 半導(dǎo)體行業(yè)氣體分析儀 > Gasboard-3053氧分析儀
簡(jiǎn)要描述：氧分析儀Gasboard-3053搭載高穩(wěn)定性的氧化鋯核心傳感器，覆蓋25%富氧至1ppm微量氧的全范圍測(cè)量。具有測(cè)量精度高、響應(yīng)時(shí)間快、穩(wěn)定性好等特點(diǎn)，可應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、空氣分離、惰性氣體焊接等領(lǐng)域，為關(guān)鍵的過(guò)程控制應(yīng)用程序提供可靠的性能。產(chǎn)品采用緊湊型模塊化設(shè)計(jì)，體積小巧，便于在復(fù)雜?況下安裝，同時(shí)配備直觀豐富的用戶界面，提供人機(jī)交互體驗(yàn)。
產(chǎn)品型號(hào)：Gasboard-3053廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新日期：2025-11-13訪 問(wèn) 量：283產(chǎn)品分類
Product classification相關(guān)文章
RELATED ARTICLES詳細(xì)介紹
產(chǎn)品名稱：氧分析儀
產(chǎn)品型號(hào)：Gasboard-3053
產(chǎn)品概述
氧分析儀Gasboard-3053搭載高穩(wěn)定性的氧化鋯核心傳感器，覆蓋25%富氧至1ppm微量氧的全范圍測(cè)量。具有測(cè)量精度高、響應(yīng)時(shí)間快、穩(wěn)定性好等特點(diǎn)，可應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、空氣分離、惰性氣體焊接等領(lǐng)域，為關(guān)鍵的過(guò)程控制應(yīng)用程序提供可靠的性能。產(chǎn)品采用緊湊型模塊化設(shè)計(jì)，體積小巧，便于在復(fù)雜?況下安裝，同時(shí)配備直觀豐富的用戶界面，提供人機(jī)交互體驗(yàn)。
產(chǎn)品特性
測(cè)量精度?，ppm級(jí)別測(cè)量
響應(yīng)速度快，秒級(jí)出數(shù)
即插即??體化設(shè)計(jì)
內(nèi)置采樣泵與過(guò)濾系統(tǒng)，安裝維護(hù)便捷
本地化端到端服務(wù)保障
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體、LED等?產(chǎn)過(guò)程中氧濃度控制、惰性保護(hù)?體?產(chǎn)及焊接?藝中氧濃度監(jiān)測(cè)、空?分離加??藝中氧濃度測(cè)定、真空?套箱系統(tǒng)中氧含量的監(jiān)控
技術(shù)參數(shù)
| 微量-常量氧分析儀 | ||
| 功能性能需求 | 檢測(cè)氣體 | O2 |
| 量程范圍 | 0~10~100~1000ppm，0~25%，自動(dòng)切換 | |
| 檢出限 | 0.5ppm | |
| 分辨率 | 0.1ppm | |
| 準(zhǔn)確度/示值誤差/精度 （ppm=氧分壓/當(dāng)前?作總壓） | ≤±2%F.S. 或 ±0.5ppm 以較大值為準(zhǔn) | |
| 響應(yīng)時(shí)間 | T90≤10s | |
| 預(yù)熱時(shí)間 | ≤20min | |
| 零點(diǎn)漂移 | ±0.5%F.S. | |
| 量程漂移 | ±0.5%F.S. | |
| 重復(fù)性 | ±0.5%F.S. | |
| 電氣結(jié)構(gòu) | 通訊協(xié)議 | RS-232，RS-485 |
| 氣路接口 | 進(jìn)氣/出氣 1/4''VCR-F | |
| 結(jié)構(gòu)形式 | 一體式 | |
| 結(jié)構(gòu)尺寸（L*W*D） | 210*134*300mm | |
| 環(huán)境要求 | 傳感器（RSM）工作溫濕度 | 溫度：0~50℃；濕度：0~95%RH，非冷凝 |
| 采樣流量 | 0.5~1L/min傳感器內(nèi)設(shè)控流組件 | |
產(chǎn)品咨詢
全國(guó)統(tǒng)一服務(wù)電話
027-81628829
電子郵箱：cubic-ry56@gasanalyzer.com.cn
公司地址：武漢市東湖高新技術(shù)開發(fā)區(qū)鳳凰產(chǎn)業(yè)園鳳凰園中路6號(hào)
業(yè)務(wù)咨詢微信
